隔膜式真空泵是一种常见的真空泵，它采用了隔膜作为泵的工作部件。隔膜式真空泵具有体积小、操作简便、维护方便、无油污染、抽气速度快等特点，在实验室、医疗设备、化工、半导体加工等领域得到了广泛的应用。
一、工作原理
隔膜式真空泵采用隔膜振动来完成气体的吸入和排出，其工作原理类似于活塞泵。隔膜泵由两个相互平行的隔膜组成，中间夹着一个压缩空气的腔体，从而形成了四个密闭的腔室。分别为进气腔、压缩腔、气体排放腔和膜背面腔。当压缩腔内的气压下降时，隔膜因外力受到的拉力向上移动，同时将压缩腔内的气体压缩。当隔膜向上运动到极限位置时，气门打开，将压缩的气体排放到外界。然后隔膜因自重和真空作用力下落，进入进气腔，从而在膜背面形成一个负压，使得进气腔内的气体被吸入，再次开始循环工作。
二、主要优点
1、无油污染：采用隔膜振动抽气，没有润滑油，因此不会产生油污染，在对气体纯度要求较高的领域有着广泛应用。
2、抽气速度快：采用了高效的隔膜振动技术，能够快速抽出大量气体。
3、体积小，操作简单：体积小巧，操作简单，维护方便，适用于实验室和小型化工设备。
4、耐腐蚀性强：由于使用的材料耐腐蚀性强，因此可以在腐蚀性较强的介质中进行抽气。
三、隔膜式真空泵的应用领域
1、分析仪器：如气相色谱、质谱仪、光谱仪等；
2、实验室设备：如真空干燥器、冷冻干燥器、真空浸渍设备等；
3、化学工业：如蒸馏、冷凝、萃取等过程中的真空处理；
4、半导体制造业：如半导体器件制造、显示器制造等的真空处理；
5、生物医药行业：如生物反应器、离心机、冷冻离心机等的真空处理。
隔膜式真空泵由于其不需要润滑油，所以能够避免油污染和废弃物处理问题，因此在一些对环境保护要求较高的领域也得到了广泛应用。
